主要优点

主要优点
用微分干涉显微镜判断、分析表面和背面的缺陷
检查对象:12inch、8inch、6inch、Glass Wafer
检查项目:表面和背面的颗粒、内部缺陷
主要优点
主要优点
用微分干涉显微镜判断、分析表面和背面的缺陷
检查对象:12inch、8inch、6inch、Glass Wafer
检查项目:表面和背面的颗粒、内部缺陷