主要优点
主要优点
-为FA和研究实验室提供精确的形貌测量解决方案
-高分辨率电子扫描模式。
-对样品和基片进行表面粗糙度测量
-样品侧壁三维结构测量
-低噪声Z探测器可精确测量AFM表面形貌
-非接触模式,降低针尖磨损，减少换探针时间
-非接触模式下的快速缺陷成像
-业内领先的三维结构测量的解耦XY扫描系统
-通过使用热匹配的组件,尽量减少系统漂移和迟滞现象
-低噪声Z探测器可精确测量AFM表面形貌
-业界领先的低噪声Z检测器测量样品表面形貌
-没有过沿过冲和压电蠕变误差的真正样品表面形貌
-即便是高速扫描也可以保持精确的表面高度
-行业领先的前向和后向扫描间隙横向飘移小于0.15%
-用真正的非接触扫描方式节省成本
-在一般用途和缺陷成像中,具有普通扫描模式10倍或更长的针尖使用寿命
-减少针尖的尖端磨损
-最真实的再现样品微观三维形貌，减少样品在扫描过程中的损坏或变形