Sentronics： SemDex A

应用领域：

电子装配

半导体

SemDex A是德国SENTRONICS公司开发的全自动晶圆参数测量系统，具有高可靠性与高精度，此系统可进行多种升级以满足不同的使用需求。
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主要优点

 

•产品应用

• 晶圆厚度（TTV）/多层薄膜厚度测量 
• 晶圆翘曲度与弯曲度（Bow、Warp）测量
• 3D 形貌，关键尺寸测量（凸块） 
• TSV 深度的纵横比测量 
• RST 厚度测量
• 粗糙度测量 
• 超薄膜厚度测量 

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