FlexTRAK-2MB等离子系统

应用领域：

电子装配

半导体

FlexTRAK-2MB系统专门用于晶舟、托盘或其他载 具中的微电子设备的高产能，在线式处理。等离子模块可实现优越的均匀性以及各批次加工的 重复性。该系统具有先进的三轴对称性等离子体处理 腔体，确保可对所有工艺参数和高度可重复性的结果 进行控制。
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主要优点

 

特点和优势:
独特的晶舟分流特点优化生产率
多个在线式模块提高产能
均匀性极高的等离子体处理技术
生产待料的双轨道晶舟控制
倒装芯片底部填充(FCUF)工艺的最佳选择

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